真空槽環流氣體控制分為脫氣處理和非脫氣處理兩種：前一種通過浸漬管不斷送入氬氣（或氮氣）等不活躍氣體驅動鋼水在真空槽內環形流動；后一種將氮氣作為保護氣體來使用。對于不同的鋼種冶煉種類中的不同生產工藝流程階段會選用不同的環流氣體流量作用于真空槽內。對鋼水循環脫氣處理時，真空槽內環流氣體的流動平穩度直接決定鋼水真空處理后的質量。

真空槽環流系統的設備主要有：氬氣、氮氣壓力檢測總管；真空槽環流氣體流量總管1、2、3和4氬氣、氮氣管切斷閥；真空槽環流氣體流量支管1、2、3和4。

位于真空槽上輸送氣體（包括氬氣和氮氣等）的環流氣體總管會配備1個量程為0～2MPa的氣體壓力檢測變送器，用于檢測氣壓狀況。同時，在裝置上會裝有相應氣動切割閥做為總開關，控制不同氣體的切換。真空槽中環流氣體的實時流量可以由具備單只氣體流量調節閥和單只孔板流量檢測裝置支管來完成。這種支管又分多路支管，每一路有一個流量檢測開關，PLC系統對超出流量限制的支路支管做報警響應。

對鋼水進行RH處理時，系統會根據所需的不同處理過程有選擇性的打開氬氣或氮氣開關來加以利用，另一方面，需要實時對各支路支管的環流氣體流量進行控制與總的環流氣體流量平衡。