氣體質量流量控制器不同介質使用時流量轉換系數與方法
2021-12-31 11:20:46
眾恒科技
隨著自動化程度的提高，氣體質量流量控制器/質量流量計越來越多的在各行各業中使用。用戶出于對生產成本以及實驗要求介質不確定的前提考慮下，可能會使用到多種介質的不同氣體，因此就要求氣體與氣體之間系數可以相互轉換及產品可以通用。
用戶在保證安全的前提下使用其它未經標定過的氣體時，可以通過氣體質量流量轉換系數進行換算。將本產品顯示出的流量讀數，先轉換為氮氣(N2)的質量流量，再與某使用氣體的轉換系數相乘，即得該被測氣體在標準狀態下的質量流量。如果用戶使用混合氣體，可以通過本方法，計算出混合氣體的轉換系數。
1、流量的標定和不同氣體的換算
本產品出廠用氮氣(N2)作為一般介質對其他氣體標定。
質量流量的單位規定為：SCCM (標準毫升/分) SLM（標準升/分）
標定狀態規定為：溫度0℃；
氣壓101325Pa（760mmHg）
2、氣體質量流量轉換系數使用說明
質量流量控制器/質量流量計出廠時一般用氮氣（N2） 標定，實際使用中如果是其它氣體，必要時可進行讀數修正。方法是以流量顯示儀的流量乘以流量轉換系數。
例：一個出廠標定為1SLM(N2) 的 MFC，通氬氣氣體時顯示的流量為1SLM，可從附錄查得氬氣的轉換系數為1.415 ，則氬氣的實際流量為1×1.415 即1.415SLM。
如果是多組份氣體的質量流量控制器/流量計,請咨詢萊峰科技，萊峰科技會用理論計算，實驗修正的方法給出多組份氣體的轉換系數。